日 반도체 검사장비 업체, 설비투자 확대…초미세화 등으로 수요 늘어








(서울=연합인포맥스) 문정현 기자 = 일본 반도체 검사장비 업체들이 적극적인 설비투자에 나서고 있다고 니혼게이자이신문이 8일 보도했다.

반도체 회로를 초미세화하는 기술과 여러 개의 반도체를 쌓는 기술, 전기차용 파워 반도체 등의 기술 발전에 따라 고성능 반도체 검사장비에 대한 수요가 늘고 있기 때문이다.

반도체 시황 악화라는 역풍이 불고 있지만 장비 업체들은 중장기적으로 수요 확대가 확실시되는 분야에 집중 투자하고 있다.

도쿄정밀은 사이타마현 한노시에 공장을 신설해 올해 7월부터 가동할 예정이다. 투자금액은 200억엔에 조금 못미치는 규모다.

반도체 웨이퍼에 전기신호를 보내 불량품이 없는지 검사하는 장비의 생산을 늘린다. 도쿄정밀은 해당 장비에서 50~60%의 세계 점유율을 확보하고 있다. 증산 후 장비제조 능력은 2021년에 비해 1.5배로 늘어날 예정이다.

같은 분야의 검사장비 부품을 제조하는 일본마이크로닉스도 약 135억엔을 투자해 아오모리현과 한국 부천시에 공장을 건설 중이다. 2024년 8월까지 완공해 시장 상황을 지켜보며 가동할 예정이다.

신문은 반도체 초미세 가공이 검사장비 수요를 견인하고 있다고 전했다. 첨단 반도체는 회로 선폭이 한 자릿수에서 20나노미터까지 미세화가 진행되고 있다.

미세한 흠집만으로도 단선의 원인이 된다. 반도체를 제조하는 공정뿐만 아니라 제품의 완성도를 검사하는 단계에서도 나노미터 단위로 측정하는 정밀도가 요구된다.

현재 장비업체의 공급량은 수요에 따라가지 못하고 있다. 도쿄정밀은 통상 납기가 3~4개월인데 현재는 8개월까지 늘어났다. 회사 관계자는 기술의 진화에 따라 "반도체 수요가 새로운 국면을 맞이하고 있다"며 "과감하게 생산능력을 늘려 점유율을 높일 것"이라고 말했다.

반도체 장비 분야의 두 번째 호재는 반도체를 수직으로 쌓아올리는 3차원 적층 기술의 등장이다.

메모리와 연산처리 반도체 등 서로 다른 종류의 반도체를 쌓으려면 연결과 배선이 복잡해진다. 전기신호를 보내는 부분이 일반 반도체보다 많아지고 이에 따라 검사 항목도 많아져 시간이 오래 걸린다. 양산 비용을 낮추기 위해서는 빠르고 정확한 검사가 중요하다.

어드밴테스트 관계자는 "장비 대수를 늘리거나 빠르게 검사할 수 있는 새로운 장비를 요구하는 고객이 늘어났다"고 말했다.

전기차용 파워 반도체 수요 급증도 검사장비 업계의 활황으로 이어지고 있다. 도레이 자회사인 도레이엔지니어링은 지난 1월 파워 반도체 검사 장비를 시장에 내놓았다.

전기차용 파워 반도체는 가전제품 등에 탑재되는 것보다 더 높은 전압과 전류를 견뎌야하기 때문에 내구성을 정밀하게 검사해야 한다.

장비 업체들의 연구개발 투자도 증가하고 있다. 반도체 웨이퍼용 회로원판 결함 검사장비를 만드는 레이저텍은 전년 대비 4.3배 수준인 230억엔의 설비투자를 계획하고 있다.

니혼게이자이는 미세화와 3차원화, 전기차용 파워 반도체 등의 기술혁신이 중장기적으로 새로운 수요를 창출할 것이라며, 이는 수급 조정에 따른 당장의 부침에 좌우되지 않을 것으로 전망했다.

jhmoon@yna.co.kr